同花顺300033）金融研究核心03月14日讯，有投资者向中微公司提问， 做为国内刻蚀设备龙头，公司正在其它设备的研发结构若何？公司回覆暗示，2024年研发投入约24。52亿元，同比增加约94。31%。目前正在研项目涵盖六类设备，近两年新开辟的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，已有多款新型设备进入市场并获得反复性订单。此中，LPCVD薄膜设备累计出货量已冲破150个反映台，其他多个环节薄膜堆积设备研发项目正正在成功推进；此外，公司EPI设备已成功进入客户端量产验证阶段公司。正在Micro-LED和高端显示范畴的MOCVD设备开辟上取得优良进展，并积极结构碳化硅和氮化镓器件市场。

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2025-05-05 16:25